Мокровоздушным вакуум-насосом удаляют смесь воды, конденсата и воздуха из прямоточных конденсаторов смешения, которые часто устраивают в самом насосе. Он представляет собой поршневой насос двойного действия. Число оборотов приводного вала насоса 120—160 в минуту. Количество воздуха, которое нужно откачать насосом перед пуском собранного аппарата, можно определить по формулеСуховоздушными вакуум-насосами откачивают паровоздушную смесь из поверхностных конденсаторов и противоточных конденсаторов смешения. По устройству насос сходен с паровой машиной, но действие его обратное: получаемая механическая энергия расходуется на сжатие паровоздушной смеси.
В отличие от воздушных компрессоров в золотнике вакуумнасоса предусмотрен канал 7, через который мертвое пространство в конце сжатия сообщается со всасывающей стороной цилиндра и давление в нем снижается. Благодаря этому при обратном ходе поршня 9 сжатая в мертвом пространстве смесь, уменьшающая объем всасывания, не расширяется. Коэффициент всасывания таких насосов около 0,9. Цилиндр 10 насоса охлаждают водой для снижения температуры воздуха и потребной мощности.
Пароструйные вакуум-насосы (эжекторы) применяют для удаления из вакуум-аппаратов воздуха и газов. По устройству и принципу действия они аналогичны пароструйным компрессорам и отличаются от них только меньшей производительностью, меньшими размерами и более высокой степенью сжатия.